מעבדת מיקרואלקטרוניקה ושכבות דקות

מעבדת מיקרואלקטרוניקה ושכבות דקות (MTFL) שייכת למחלקת מיקרו וננואלקטרוניקה של הפקולטה להנדסת חשמל ואלקטרוניק. ה-MFTL משמשת כמעבדת מחקר וחינוך.

מעבדת מיקרואלקטרוניקה ושכבות דקות

איש קשר: ד"ר אלכסנדר אקסלביץ'

מיקום: בניין 1, חדר: 502

כאן, סטודנטים שבחרו בכיוון מיקרואלקטרוניקה ואלקטרו-אופטיקה לוקחים את קורס החובה "מעבדת שכבות דקות ". כמו כן, סטודנטים לתואר ראשון ותארים מתקדמים עובדים על פרויקטי הגמר שלהם במעבדה.

ה-MTFL מורכבת משני חלקים, טכנולוגי ומדידה. החטיבה הטכנולוגית כוללת מערכות שונות להכנת שכבות דקות ואבקות ננו בשיטות פיזיקליות וכימיות. ניתן לשקע שכבות דקות של מתכות, מוליכים למחצה וחומרים דיאלקטריים שונים באמצעות התזה ואידוי תרמי בוואקום, על ידי ציפוי סיבובי ושימוש במערכת תרמו-כימית. החטיבה למדידה מבוססת על שימוש בציוד ושיטות מדעיות קונבנציונליות וייחודיות שהומצאו כאן. ניתן למדוד תכונות חשמליות ואופטיות של שכבות דקות שגודלו במעבדה. המחקר הנערך ב-MTFL מתמקד בשיטות שקיעה חדשניות המבוססות על יישומי פלזמה, בתחום האנרגיה המתחדשת, בפרט: תאים סולאריים, פיצול מים עבור תאי דלק, ננו-גנרטורים אלקטרו המבוססים על פיזואלקטריות וכו'.
המעבדה כוללת מערכת פיזור ואקום ומערכות שקיעה באמצעות התזה, ציוד למדידת שכבות כמו גם תכונות מגנטיות וחשמליות של סרטים דקים. במעבדה מפותחות שיטות משקע שכבות דקות בהרכבים שונים.

קריאה נוספת