Syllabus

 

Last exam Exercises          Additional materials References Test questions Lectures (English Version)

 

מבוא לתחום שכבות דקות	תכונות של מבנה	פיסיקה וטכנולוגיה של וואקום
חומרים במיקרואלקטרוניקה	נידוף טרמי בוואקום	פריקה חשמלית בגז
התזה	ציפוי שכבות בצורה כימית	גידול שכבות דקות
אפיון שכבות דקות	תכונות חשמליות	תכונות אופטיות